在C#中，創建子進程通常是通過使用System.Diagnostics.Process類來實現的

using System;
using System.Diagnostics;

class Program
{
    static void Main()
    {
        ProcessStartInfo startInfo = new ProcessStartInfo("notepad.exe")
        {
            RedirectStandardOutput = true,
            UseShellExecute = false
        };

        Process process = new Process();
        process.StartInfo = startInfo;
        process.Start();

        // 等待子進程退出
        process.WaitForExit();

        // 獲取子進程的資源占用情況
        TimeSpan totalProcessorTime = process.TotalProcessorTime;
        long peakWorkingSet64 = process.PeakWorkingSet64;
        long peakVirtualMemorySize64 = process.PeakVirtualMemorySize64;

        Console.WriteLine($"Total Processor Time: {totalProcessorTime}");
        Console.WriteLine($"Peak Working Set: {peakWorkingSet64 / 1024} KB");
        Console.WriteLine($"Peak Virtual Memory Size: {peakVirtualMemorySize64 / 1024} KB");

        process.Close();
    }
}

在這個示例中，我們創建了一個新的Process對象，并使用ProcessStartInfo類來指定要運行的應用程序（在本例中為Notepad）。然后，我們設置RedirectStandardOutput屬性以捕獲子進程的輸出，并將UseShellExecute屬性設置為false以啟用重定向。

接下來，我們調用process.Start()方法來啟動子進程，并使用process.WaitForExit()方法等待子進程退出。一旦子進程退出，我們就可以使用TotalProcessorTime、PeakWorkingSet64和PeakVirtualMemorySize64屬性來獲取子進程的資源占用情況。

請注意，這些屬性只能在子進程退出之后才能訪問。如果你需要在子進程運行期間實時監控其資源占用情況，可以考慮使用PerformanceCounter類或其他性能監視工具。